
I-PEX Piezo Solutionsが、福岡県小郡市のI-PEXキャンパス内に、圧電MEMSファウンドリ事業の製造能力を強化する新たなクリーンルームを設置し、開所式を執り行いました。
クリーンルーム設置の目的と概要
I-PEX Piezo Solutions株式会社は、単結晶PZT成膜技術を核とする圧電MEMSファウンドリ事業において、さらなる製造能力の増強を目指し、福岡県小郡市のI-PEXキャンパス内「Tech Forest」にクリーンルームを新設しました。2026年7月9日には開所式が開催され、神事やテープカットに加え、施設概要の説明や見学会が行われました。施設名:I-PEXキャンパス Tech Forest内クリーンルーム
開所日:2026年7月9日
圧電MEMSファウンドリ事業の展開
I-PEX Piezo Solutions株式会社は、I-PEXグループの圧電MEMS加工部門から独立して設立された企業です。独自の単結晶圧電薄膜成膜技術を活用し、高性能な圧電薄膜の成膜および圧電MEMS加工技術を提供する独立系ファウンドリとして事業を展開しています。I-PEXは、今後も本事業のさらなる発展に向けた取り組みを継続していく方針です。まとめ
福岡県小郡市のI-PEXキャンパスに新設されたクリーンルームの稼働により、圧電MEMSファウンドリ事業の製造体制が強化され、より高度な技術提供が可能となります。関連リンク
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